Активируемые процессы технологии микроэлектроники

 

QR code of document

Ratings: 0

621.382 А 432

    Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [ред. кол. : Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1978 - .
   вып. 4 / Таганрогский радиотехнический институт. - 175 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.

УДК
621.382.049.77.002

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- легирование кремния -- электронно-ионная бомбардировка -- напыление тонких пленок -- двойникование кристаллов кремния -- диэлектрические пленки -- транзисторы кремниевые
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг