Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок

 

QR code of document

Ratings: 0

621.315 П 845

    Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок : сборник научных трудов / Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии ; отв. ред. Ф. А. Кузнецов. - Новосибирск : Наука, 1988. - 198 c. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст. . - ISBN 5020286710

УДК
621.315.592.002

Кл.слова (ненормированные):
кристаллы полупроводниковые -- формирование монокристаллических слоев -- кристаллография -- пленки полупроводниковые -- методы выращивания кристаллов -- полупроводники кристаллические -- синтез кристаллов
Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ф. А. \ред.\
Институт неорганической химии (Новосибирск)

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг