Возможности компьютерных сканеров в контроле сверхтонких слоев/Котенев, В. А.

 

QR code of document

Ratings: 0


Котенев, В. А.
    Возможности компьютерных сканеров в контроле сверхтонких слоев [Текст] / В. А. Котенев // Защита металлов. - Т. 40, N 4 (2004), С. 439-447. - Библиогр.: с. 447 (16 назв. )
УДК
620.1/.2

Кл.слова (ненормированные):
поверхностные слои -- оптические сканеры -- сверхтонкие слои -- сканеры -- поверхностные пленки
Аннотация: Представлены теоретические и методические основы использования компьютерных оптических сканеров для контроля сверхтонких поверхностных слоев и пленок.