Лекция 1. Терминология, история, применение, технологии микроэлектромеханических систем/Распопов, В. Я.

 

QR code of document

Ratings: 0


Распопов, В. Я.
    Лекция 1. Терминология, история, применение, технологии микроэлектромеханических систем / В. Я. Распопов // Датчики и системы. - N 3 (2005), С. 17-21. - Библиогр.: с. 20-21 (18 назв. ). - Содержание: Терминология, история, применение, технологии микроэлектромеханических систем. - Ил.

УДК
621.38
ББК 32.85

Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника

Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- микроэлектромеханические системы -- микродатчики -- микроактюаторы -- преобразователи -- актюаторы -- МЭМС-технологии -- микроэлектроника
Аннотация: Лекция посвящена одной из наиболее перспективных технологий 21-го века - микроэлектромеханическим системам (МЭМС) . Дана история развития, некоторые области применения и технологии.

Please authorize to view

Similar publications by classification

Часы-будильник с термометром/Киба, В.
Развертка с параллельным переносом электронного пучка для измерителя поперечного профиля интенсивного ионного сгустка/Логачев, П. В.
Ремонт электронно-механических будильников/Яковенко, Н.
Электронные весы - игрушка/Мамичев, Д.
"Умный" фонарь/Ознобихин, А.