Процессы электронно-ионной технологии/Ледовской, Вячеслав Павлович.

 

QR code of document

Ratings: 0

621.38 П 845
Ледовской, Вячеслав Павлович.
    Процессы электронно-ионной технологии : конспект лекций / В. П. Ледовской, В. Ф. Попов, Э. Зайдовски [и др.] ; Ленинградский электротехнический институт. - Ленинград : [б. и.], 1978. - 66 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 65

УДК
621.38.032.266(02)

Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная технология -- тонкопленочная технология -- свойства тонких пленок -- электронная литография -- устройства ионного распыления -- устройства ионного легирования
Доп.точки доступа:
Попов, Владимир Федорович
Зайдовски, Экарт
Ленинградский электротехнический институт

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг