QR code of document
> 621.382.049.77(075.8)
Е 912
Ефимов, Иван Ефимович.
Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность : учебное пособие для приборостроительных специальностей вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - Изд. 2-е, перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1986. - 464 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 458
УДК | 621.382.049.77(075.8) |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводники -- интегральные микросхемы (ИМС) -- подложки ИМС -- полупроводниковая микроэлектроника -- пленочная микроэлектроника -- гибридные ИМС
Доп.точки доступа:
Козырь, Иван Яковлевич
Горбунов, Юрий Иванович
Экземпляры всего: 13
ЕКВ ауд.402 учебная (10), Ч/З о. Русский (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: ЕКВ ауд.402 учебная (10), Ч/З о. Русский (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)