Skip to content 
QR code of document
621.382 Ф 503
Физика микроэлектронных приборов : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; [ред. кол. : Т. Д. Шермергор (отв. ред.) и др.]. - Москва : [б. и.], 1982. - 93 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
| УДК | 621.382.049.77:53 |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- композиционные материалы -- механика твердого тела -- пленки диэлектрические -- пленки полупроводниковые -- диэлектрики поликристаллические -- пьезоэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Шермергор, Т. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)