Skip to content
QR code of document
621.382.049.771.14
Д 363
Деркач, Виталий Павлович.
Методы повышения параметров БИС / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - Киев : Вища школа, 1986. - 152 с. : ил. - Библиогр. : с. 143-152.
| УДК | 621.382.049.771.14 |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- транзисторы -- фотолитография -- электронолитография -- рентгенолитография -- ионолитография -- вакуумно-плазменная микрообработка
Доп.точки доступа:
Кияшко, Г. Ф.
Кухарчук, М. С.
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)