Энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов в микро- и нанотехнологиях/Саноян, А. Г.

Энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов в микро- и нанотехнологиях/Саноян, А. Г.

https://library.dvfu.ru/en/lib/document/EK/BC033BEF-B88F-4B2B-BE25-16EDF2C1B960/

Саноян, А. Г.
    Энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов в микро- и нанотехнологиях / А. Г. Саноян // Физика и химия обработки материалов. - N 6 (2006), С. 69-74

УДК

621.391

ББК 32

Рубрики: Радиоэлектроника--Общие вопросы радиоэлектроники

Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологии -- микротехнологии -- обработка материалов -- энтропийные модели -- технические устройства
Аннотация: Предложены энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов, позволяющие сформулировать требования к технологическим процессам в зависимости от сложности и выхода годных изделий.

QR code of document