Литография в производстве интегральных микросхем/Родионов, Юрий Анатольевич.

 

QR code of document

Ratings: 0

621(075.8) Р 605
Родионов, Юрий Анатольевич.
    Литография в производстве интегральных микросхем : учебное пособие для профессионально-технических училищ / Ю. А. Родионов. - Минск : Дизайн ПРО, 1998. - 96 c. : ил. - Библиогр. : с. 95. . - ISBN 9856182646

УДК
621.382(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- литография -- производство интегральных микросхем -- фотолитография -- рентгеновская литография -- электронная литография
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Please authorize to view