QR code of document
> 621.382.049.772
П 533
Полупроводниковые пленки для микроэлектроники / Академия наук СССР, Сибирское отделение; Институт физики полупроводников ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. : Л. Н. Александров, В. И. Петросян. - Новосибирск : Наука, 1977. - 248 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
УДК | 621.382.049.772 |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые пленки -- микроэлектроника -- фазовые переходы -- полупроводники -- пленки поликристаллического кремния
Доп.точки доступа:
Александров, Леонид Наумович \ред.\
Петросян, Вольдемар Иванович \ред.\
Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (2)