Skip to content 
QR code of document
Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния [Текст] / В. К. Егоров [и др.]. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2017. - Т. 59, вып. 4.
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- карбид кремния -- топохимическое превращение -- структурная гетероэпитаксия -- монокристаллическое строение
Доп.точки доступа:
Егоров, В. К.
Егоров, Е. В.
Кукушкин, С. А.
Осипов, А. В.