Микротвердость тонких пленок, полученных ионно-плазменным осаждением/Смоланов, Н. А.

 

QR code of document

Ratings: 0


Смоланов, Н. А.
    Микротвердость тонких пленок, полученных ионно-плазменным осаждением / Н. А. Смоланов, Н. А. Панькин, О. Ф. Четвертакова // Материаловедение. - N 11 (2009), С. 30-35

УДК
533.9
ББК 22.333

Рубрики: Физика

   Электронные и ионные явления. Физика плазмы

Кл.слова (ненормированные):
ионно-плазменное осаждение -- многослойные конденсаты -- тонкие пленки -- карбонитриды -- микротвердость -- ионно-плазменные покрытия -- карбонитриды титана
Аннотация: Исследованы микротвердость, фазовый и элементный составы, плотность и структура тонких пленок и многослойного конденсата на основе карбонитрида титана, осажденных вблизи катодного узла.
Доп.точки доступа:
Панькин, Н. А.
Четвертакова, О. Ф.

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг

Similar publications by classification

Энергетические потери в релятивистской плазме: квантовая хромодинамика в сравнении с квантовой электродинамикой/Пеньве, С.
Нестационарный цилиндрический зонд с самосогласованным отрицательным электрическим зарядом в ионосферной плазме/Федоров, В. А.
Сравнительный анализ пленкообразования в плазме тлеющего разряда в смесях метана с неоном и аргоном/Солдатова, И. В.
О механизме укорочения сверхвысокочастотного импульса в генераторах с сильноточным релятивистским электронным пучком/Лоза, О. Т.
Численное моделирование течения в канале переменной площади сечения при импульсно-периодическом подводе энергии/Латыпов, А. Ф.