Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра

 

QR code of document

Ratings: 0



    Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра / А. Н. Королев [и др. ] // Измерительная техника. - N 4 (2005), С. 29-33

УДК
389
ББК 30.10

Рубрики: Техника--Метрология

Кл.слова (ненормированные):
интерференция -- микроинтерферометры -- нанометрология -- мера высоты ступени -- лазерные микроинтерферометры -- прецизионные технологии -- сканирующие микроскопы
Аннотация: Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности.
Доп.точки доступа:
Королев, А. Н.
Лукин, А. Я.
Коротков, В. И.
Пулькин, С. А.
Сизов, А. Л.

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг

Similar publications by classification

Влияние классификационных характеристик случайных процессов на точность обработки результатов измерений/Прохоренков, А. М.
Корреляционный метод оценивания координат объектов на цифровых изображениях в оптико-электронных измерительных системах/Самойлин, Е. А.
Автоматизация проверки статистических гипотез критериями Мизеса и Пирсона/Чепуштанов, А. Н.
Метод совокупных измерений при наличии априорной информации о распределении определяемых величин/Соболев, В. И.
Практическая реализация метода весовых функций для построения оценок функции плотности распределения/Лазарев, В. М.