Skip to content 
QR code of document
Колпаков, В. А.
Механизм адгезии в структурах металл-диэлектрик после бомбардировки потоком заряженных частиц / В. А. Колпаков // Физика и химия обработки материалов. - N 5 (2006), С. 41-48
| УДК | 621.382+539.216 |
Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника
Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
адгезия -- заряженные частицы -- диэлектрики -- тонкие пленки -- ситаллы -- диэлектрические подложки -- высоковольтные газовые разряды -- металлические пленки -- бомбардировка потоком заряженных частиц -- структуры металл-диэлектрик -- вакуумно-плазменное травление
Аннотация: Исследовано влияние бомбардировки потоком заряженных частиц из плазмы высоковольтного газового разряда на адгезию тонких пленок меди на поверхности диэлектрических подложек из диоксида кремния и ситалла.
Similar publications by classification