Skip to content
QR code of document
621.38(075) З-332
Запорожский, Владимир Петрович.
Обработка полупроводниковых материалов : учебное пособие / В. П. Запорожский, Б. А. Лапшинов. - Москва : Высшая школа, 1988. - 184 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 183.
| УДК | 621.382.002(075) | 621.315.592.002(075) |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- фотолитография -- изготовление фотошаблонов
Доп.точки доступа:
Лапшинов, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 2
Абонемент 402 (2)
Свободны: Абонемент 402 (2)