Процессы и установки электронно-ионной технологии/Попов, Владимир Федорович.

 

QR code of document

Ratings: 0

621.359 (075.8) П 58
Попов, Владимир Федорович.
    Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - Москва : Высшая школа, 1988. - 255 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 250-251. . - ISBN 5060014800

УДК
621.359(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
термические процессы электронной технологии -- литография электронно-лучевая -- микроанализ ренгеноспектральный -- технология ионного распыления -- ионное легирование материалов -- литография ионная -- эпитаксия молекулярно-лучевая
Доп.точки доступа:
Горин, Юрий Николаевич

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг