Электронный каталог

63.5 М 201

    Малые народы Индокитая : [сборник статей] / Институт этнографии (Москва) ; Академия наук СССР, Институт этнографии ; [отв. ред. : А. И. Кузнецов, Д. В. Деопик]. - Москва : Наука, 1983. - 184 c. - Библиогр. в конце ст.

Малые народы Индокитая [Текст] : [сборник статей] / Институт этнографии (Москва), 1983. - 184 c. с.

Яфаров, Р. К.
    Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2016. - Т. 58, вып. 2.

Кл.слова (ненормированные):
кристаллы кремния -- морфологические характеристики -- аргон -- материаловедение -- физика СВЧ -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Шаныгин, В. Я.

Яфаров, Р. К. Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. - С. 350-353. с. // Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2016. - Т. 58, вып. 2.

Яфаров, Р. К.
    Кинетика структуирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 6.

Кл.слова (ненормированные):
углеродные покрытия -- субмонослойные углеродные покрытия -- кристаллы кремния -- вакуумно-плазменное осаждение -- СВЧ осаждение -- атомно-силовая микроскопия -- электронная микроскопия -- плазма паров этанола
Доп.точки доступа:
Шаныгин, В. Я.

Яфаров, Р. К. Кинетика структуирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. - С. 61-68. с. // Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 6.