Electronic catalog

el cat en


 

База данных: Electronic catalog FEFU

Page 1, Results: 1

Отмеченные записи: 0


Скупов, А. В.
    Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11

УДК
ББК 22.3с + 31.24

Рубрики: Физика--Физические приборы

   Энергетика--Техника высоких измерений


Кл.слова (ненормированные):
гетерокомпозиции -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- радиационные дефекты -- внедряемые ионы -- имплантируемые ионы -- ионы фосфора -- ионы бора -- точечные радиационные дефекты -- эпитаксиальные гетерокомпозиции -- профили пространственного распределения
Аннотация: Методом Монте-Карло рассчитаны профили пространственного распределения имплантируемых в гетерокомпозиции "диоксид кремния-кремний-сапфир" ионов бора и фосфора и возникающих при этом точечных радиационных дефектов.
Доп.точки доступа:
Скупов, В. Д.
Оболенский, С. В.

Скупов, А. В. Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" [Текст] / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11

1.

Скупов, А. В. Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" [Текст] / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11



Скупов, А. В.
    Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11

УДК
ББК 22.3с + 31.24

Рубрики: Физика--Физические приборы

   Энергетика--Техника высоких измерений


Кл.слова (ненормированные):
гетерокомпозиции -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- радиационные дефекты -- внедряемые ионы -- имплантируемые ионы -- ионы фосфора -- ионы бора -- точечные радиационные дефекты -- эпитаксиальные гетерокомпозиции -- профили пространственного распределения
Аннотация: Методом Монте-Карло рассчитаны профили пространственного распределения имплантируемых в гетерокомпозиции "диоксид кремния-кремний-сапфир" ионов бора и фосфора и возникающих при этом точечных радиационных дефектов.
Доп.точки доступа:
Скупов, В. Д.
Оболенский, С. В.

Page 1, Results: 1

 

All acquisitions for 2025
Or select a month
January
February
March
April
May
June
July
August
September
October
November
December