Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 3
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Боков, Юрий Сергеевич.
Фото-, электроно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : табл., ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр. : с. 129-135
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- микроэлектроника -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- рентгенолитография -- фотохимия
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Боков, Юрий Сергеевич.
Фото-, электроно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : табл., ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр. : с. 129-135
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- микроэлектроника -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- рентгенолитография -- фотохимия
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110 - 111.. - ISBN 9785903286201
ББК 37.83
Рубрики: литография--нанотехнологии--монографии
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- оптическая литография -- электронно-лучевая литография -- рентгенолитография -- ионолитография -- импринт-литография -- микроконтактная печать -- зондовая литография -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна
Лунин, Леонид Сергеевич
Лозовский, Владимир Николаевич \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110 - 111.. - ISBN 9785903286201
Рубрики: литография--нанотехнологии--монографии
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- оптическая литография -- электронно-лучевая литография -- рентгенолитография -- ионолитография -- импринт-литография -- микроконтактная печать -- зондовая литография -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна
Лунин, Леонид Сергеевич
Лозовский, Владимир Николаевич \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
3.
Подробнее
Д 363
Деркач, Виталий Павлович.
Методы повышения параметров БИС / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - Киев : Вища школа, 1986. - 152 с. : ил. - Библиогр. : с. 143-152.
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- транзисторы -- фотолитография -- электронолитография -- рентгенолитография -- ионолитография -- вакуумно-плазменная микрообработка
Доп.точки доступа:
Кияшко, Г. Ф.
Кухарчук, М. С.
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Д 363
Деркач, Виталий Павлович.
Методы повышения параметров БИС / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - Киев : Вища школа, 1986. - 152 с. : ил. - Библиогр. : с. 143-152.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- транзисторы -- фотолитография -- электронолитография -- рентгенолитография -- ионолитография -- вакуумно-плазменная микрообработка
Доп.точки доступа:
Кияшко, Г. Ф.
Кухарчук, М. С.
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 3