Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 2
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Боков, Юрий Сергеевич.
Фото-, электроно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : табл., ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр. : с. 129-135
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- микроэлектроника -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- рентгенолитография -- фотохимия
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Боков, Юрий Сергеевич.
Фото-, электроно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : табл., ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр. : с. 129-135
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- микроэлектроника -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- рентгенолитография -- фотохимия
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319. - ISBN 9785915592154
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319. - ISBN 9785915592154
| УДК |
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Page 1, Results: 2