Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
2.
Подробнее
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники / Московский институт электронной техники ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : [Изд-во Московского института электронной техники], 1975. - 298 с. : ил., табл. - (Физико-химическая серия. Эпитаксия II ; вып. 20). - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные процессы -- эпитаксиальные слои -- тонкие пленки -- полупроводниковые соединения
Доп.точки доступа:
Чистяков, Ю. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники / Московский институт электронной техники ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : [Изд-во Московского института электронной техники], 1975. - 298 с. : ил., табл. - (Физико-химическая серия. Эпитаксия II ; вып. 20). - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные процессы -- эпитаксиальные слои -- тонкие пленки -- полупроводниковые соединения
Доп.точки доступа:
Чистяков, Ю. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
3.
Подробнее
Томилин, Виктор Иванович.
Физико-химические основы технологии электронных средств : учебник для вузов / В. И. Томилин. - Москва : Академия, 2010. - 410 с. : ил., табл. - (Высшее профессиональное образование). - Библиогр. : с. 404-405. - ISBN 9785769547126
Рубрики: микроэлектронные схемы интегральные--производство--физико-химические основы--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные процессы -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- нанотехнологии -- кристаллография -- кристаллохимия -- фазовые равновесия (электроника) -- химические равновесия (электроника) -- дефекты кристаллов -- кристаллы (электроника) -- кинетические процессы -- нанообъекты (электроника) -- полупроводники -- термодинамика растворов -- структура кристаллов -- кинетика химических реакций -- диффузионные процессы -- гетерогенные процессы -- термодинамический анализ -- химическая термодинамика материалов
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Томилин, Виктор Иванович.
Физико-химические основы технологии электронных средств : учебник для вузов / В. И. Томилин. - Москва : Академия, 2010. - 410 с. : ил., табл. - (Высшее профессиональное образование). - Библиогр. : с. 404-405. - ISBN 9785769547126
| УДК |
Рубрики: микроэлектронные схемы интегральные--производство--физико-химические основы--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные процессы -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- нанотехнологии -- кристаллография -- кристаллохимия -- фазовые равновесия (электроника) -- химические равновесия (электроника) -- дефекты кристаллов -- кристаллы (электроника) -- кинетические процессы -- нанообъекты (электроника) -- полупроводники -- термодинамика растворов -- структура кристаллов -- кинетика химических реакций -- диффузионные процессы -- гетерогенные процессы -- термодинамический анализ -- химическая термодинамика материалов
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 3