Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Каштанов, П. В.
Магнетронная плазма и нанотехнология / П. В. Каштанов, Б. М. Смирнов, Р. Хипплер // Успехи физических наук. - Т. 177, N 5 (2007), С. 473-510. - Библиогр.: с. 507-510 (254 назв. ). - ил.: 20 рис., 6 табл.
ББК 22.38 + 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологии -- нуклеация -- катоды -- магнетронная плазма -- атомы металла -- буферные газы
Аннотация: Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа.
Доп.точки доступа:
Смирнов, Б. М.
Хипплер, Р.
Каштанов, П. В.
Магнетронная плазма и нанотехнология / П. В. Каштанов, Б. М. Смирнов, Р. Хипплер // Успехи физических наук. - Т. 177, N 5 (2007), С. 473-510. - Библиогр.: с. 507-510 (254 назв. ). - ил.: 20 рис., 6 табл.
| УДК |
Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологии -- нуклеация -- катоды -- магнетронная плазма -- атомы металла -- буферные газы
Аннотация: Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа.
Доп.точки доступа:
Смирнов, Б. М.
Хипплер, Р.
Page 1, Results: 1