Электронный каталог

62
Лич, Р.
    Инженерные основы измерений нанометровой точности : Учебное издание / Лич Р. - Долгопрудный : Издательский Дом «Интеллект», 2012. - 399 с. . - ISBN 978-5-91559-119-5
Книга не входит в Премиум-версию IPR SMART.

УДК

62

ББК 30.10

Кл.слова (ненормированные):
интерферометрия -- координатная метрология -- лазер -- макрообъект -- нанометрология -- нанотехнология -- прецизионный инструмент
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс. Для студентов и преподавателей технических университетов, специалистов промышленных предприятий, инженеров-разработчиков и исследователей.

Доп.точки доступа:
Заблоцкий, А. В. \пер.\