Электронный каталог

    Оптическая диагностика лазерно-индуцированных фазовых превращений в тонких пленках германия на кремнии, сапфире и кварце [Текст] / Г. А. Новиков [и др.]. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 3.

Кл.слова (ненормированные):
метод in-situ -- пленки Ge -- подложки монокристаллического кремния -- подложки монокристаллического сапфира -- подложки плавленного кварца -- оптическая диагностика -- лазерно-индуцированные фазовые превращения -- ионно-лучевое распыление -- магнетронное распыление
Доп.точки доступа:
Новиков, Г. А.
Баталов, Р. И.
Баязитов, Р. М.
Файзрахманов, И. А.
Ивлев, Г. Д.
Прокопьев, С. Л.

Оптическая диагностика лазерно-индуцированных фазовых превращений в тонких пленках германия на кремнии, сапфире и кварце [Текст] / Г. А. Новиков [и др.]. - С. 89-95. с. // Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 3.