Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Лифшиц, Виктор Григорьевич.
Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии / В. Г. Лифшиц, Ю. В. Луняков ; Российская академия наук, Дальневосточное отделение, Институт автоматики и процессов управления. - Владивосток : Дальнаука, 2004. - 315 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 5804404547
Парал. тит. л. на англ. яз.
Рубрики: структура молекулярных систем--электронная спектроскопия--физика поверхностей--монографии
Кл.слова (ненормированные):
электронная спектроскопия -- спектроскопия характеристических потерь энергии электронами (ХПЭЭ) -- спектры ХПЭЭ -- кремниевые технологии -- физика поверхностей -- поверхности кремния -- физика конденсированного состояния -- поверхностные фазы на кремнии (спектры)
Доп.точки доступа:
Луняков, Юрий Виловьевич
Институт автоматики и процессов управления (Владивосток)
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Лифшиц, Виктор Григорьевич.
Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии / В. Г. Лифшиц, Ю. В. Луняков ; Российская академия наук, Дальневосточное отделение, Институт автоматики и процессов управления. - Владивосток : Дальнаука, 2004. - 315 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 5804404547
Парал. тит. л. на англ. яз.
| УДК |
Рубрики: структура молекулярных систем--электронная спектроскопия--физика поверхностей--монографии
Кл.слова (ненормированные):
электронная спектроскопия -- спектроскопия характеристических потерь энергии электронами (ХПЭЭ) -- спектры ХПЭЭ -- кремниевые технологии -- физика поверхностей -- поверхности кремния -- физика конденсированного состояния -- поверхностные фазы на кремнии (спектры)
Доп.точки доступа:
Луняков, Юрий Виловьевич
Институт автоматики и процессов управления (Владивосток)
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Скворцов, А. М.
Структура нанокластеров кремния в системе кремний - диоксид кремния / А. М. Скворцов, Куанг Тунг Фам // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 52, N 3 (2009), С. 69-72. - Библиогр.: с. 72 (20 назв. )
ББК 34.93 + 32.86 + 32.86-5
Рубрики: Приборостроение
Материалы в приборостроении
Радиоэлектроника
Квантовая электроника
Квантовые приборы
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- цифровые приборы -- полупроводниковые материалы -- нанокомпозитные материалы -- кремниевые технологии -- кремний -- нанокластеры кремния -- режимы термообработки
Аннотация: Показано, что при формировании нанокластеров кремния на монокристалических кремниевых подложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру. Указывается на возможность использования массива нанокристаллов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Доп.точки доступа:
Фам Куанг Тунг
Скворцов, А. М.
Структура нанокластеров кремния в системе кремний - диоксид кремния / А. М. Скворцов, Куанг Тунг Фам // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 52, N 3 (2009), С. 69-72. - Библиогр.: с. 72 (20 назв. )
| УДК |
Рубрики: Приборостроение
Материалы в приборостроении
Радиоэлектроника
Квантовая электроника
Квантовые приборы
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- цифровые приборы -- полупроводниковые материалы -- нанокомпозитные материалы -- кремниевые технологии -- кремний -- нанокластеры кремния -- режимы термообработки
Аннотация: Показано, что при формировании нанокластеров кремния на монокристалических кремниевых подложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру. Указывается на возможность использования массива нанокристаллов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Доп.точки доступа:
Фам Куанг Тунг
Страница 1, Результатов: 2