Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5256006991
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5256006991
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
2.
Подробнее
Таруи, Ясуо.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем / Я. Таруи ; пер. с яп. В. А. Лазарева. - Москва : Радио и связь, 1985. - 479 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 454-474
Парал. тит. л. на яп. яз.
Кл.слова (ненормированные):
сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- изготовление СБИС -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- фотолитография -- типы дефектов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Лазарев, В. А. \пер.\
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Таруи, Ясуо.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем / Я. Таруи ; пер. с яп. В. А. Лазарева. - Москва : Радио и связь, 1985. - 479 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 454-474
Парал. тит. л. на яп. яз.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- изготовление СБИС -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- фотолитография -- типы дефектов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Лазарев, В. А. \пер.\
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 2