Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Ч-591
621.382 Ч-591 / Ч-591-Хранение Отдела организации и использования фонда
621.38(075.8) Ч-591 / Ч-591-ЕКВ ауд.402 учебная
Чижевич, Людмила Анатольевна.
Технологические процессы изготовления микросхем : учебное пособие / Л. А. Чижевич, Е. Л. Гамаюнов ; Дальневосточный политехнический институт ; Дальневосточный политехнический институт (Владивосток). - Владивосток : [б. и.], 1986. - 79 с. : ил. - Библиогр. : с. 78-79
Кл.слова (ненормированные):
микросхемы тонкопленочные -- микросхемы полупроводниковые -- микросхемы интегральные -- диэлектрические пленки -- термовакуумное испарение -- ионно-плазменное распыление -- окисление термохимическое -- окисление электролитическое
Доп.точки доступа:
Гамаюнов, Евгений Леонидович
Дальневосточный политехнический институт (Владивосток)
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), ЕКВ ауд.402 учебная (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), ЕКВ ауд.402 учебная (1)
Ч-591
621.382 Ч-591 / Ч-591-Хранение Отдела организации и использования фонда
621.38(075.8) Ч-591 / Ч-591-ЕКВ ауд.402 учебная
Чижевич, Людмила Анатольевна.
Технологические процессы изготовления микросхем : учебное пособие / Л. А. Чижевич, Е. Л. Гамаюнов ; Дальневосточный политехнический институт ; Дальневосточный политехнический институт (Владивосток). - Владивосток : [б. и.], 1986. - 79 с. : ил. - Библиогр. : с. 78-79
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микросхемы тонкопленочные -- микросхемы полупроводниковые -- микросхемы интегральные -- диэлектрические пленки -- термовакуумное испарение -- ионно-плазменное распыление -- окисление термохимическое -- окисление электролитическое
Доп.точки доступа:
Гамаюнов, Евгений Леонидович
Дальневосточный политехнический институт (Владивосток)
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), ЕКВ ауд.402 учебная (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), ЕКВ ауд.402 учебная (1)
Страница 1, Результатов: 1