Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Ю. А. Парменова. - Москва : [б. и.], 1988. - 122 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- схемы полупроводниковые интегральные -- интегральные микросхемы (ИМС) -- МДП-системы -- кремниевые пластины -- пленки диоксида кремния -- пленки диэлектрические
Доп.точки доступа:
Парменов, Ю. А. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Ю. А. Парменова. - Москва : [б. и.], 1988. - 122 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- схемы полупроводниковые интегральные -- интегральные микросхемы (ИМС) -- МДП-системы -- кремниевые пластины -- пленки диоксида кремния -- пленки диэлектрические
Доп.точки доступа:
Парменов, Ю. А. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Румак, Николай Владимирович.
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 181-189. - ISBN 5343005403
Рубрики: диэлектрические пленки--получение
микроэлектронные схемы интегральные--производство
Кл.слова (ненормированные):
МДП-структуры -- твердотельная микроэлектроника -- окисление кремния -- пленки диоксида кремния -- изолирующие слои -- пассивирующие слои
Доп.точки доступа:
Хатько, Вячеслав Владимирович
Борисенко, В. Е. \ред.\
Академия наук Белорусской ССР. Физико-технический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Румак, Николай Владимирович.
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 181-189. - ISBN 5343005403
| УДК |
Рубрики: диэлектрические пленки--получение
микроэлектронные схемы интегральные--производство
Кл.слова (ненормированные):
МДП-структуры -- твердотельная микроэлектроника -- окисление кремния -- пленки диоксида кремния -- изолирующие слои -- пассивирующие слои
Доп.точки доступа:
Хатько, Вячеслав Владимирович
Борисенко, В. Е. \ред.\
Академия наук Белорусской ССР. Физико-технический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 2