Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1976 - .
вып. 2 / Таганрогский радиотехнический институт. - 222 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- интегральные схемы (ИС) -- производство интегральных схем -- электромагнитное поле -- монокристаллы -- микроэлектроника -- поликристаллические пленки -- полупроводники
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1976 - .
вып. 2 / Таганрогский радиотехнический институт. - 222 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- интегральные схемы (ИС) -- производство интегральных схем -- электромагнитное поле -- монокристаллы -- микроэлектроника -- поликристаллические пленки -- полупроводники
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Ахманов, Александр Сергеевич.
Физические принципы микротехнологии : [учебное пособие] / А. С. Ахманов ; Московский государственный университет, Научно-исследовательский институт ядерной физики, Кафедра атомной физики и физики плазмы. - Москва : Изд-во Московского университета, 1988. - 62 c. : табл., ил. - Библиогр. : с. 62. - ISBN 5211012291
Кл.слова (ненормированные):
сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- полупроводники -- элементная база СБИС -- производство интегральных схем -- технологии изготовления СБИС -- электронные свойства поверхностей -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Московский государственный университет
Научно-исследовательский институт ядерной физики. Кафедра атомной физики и физики плазмы
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Ахманов, Александр Сергеевич.
Физические принципы микротехнологии : [учебное пособие] / А. С. Ахманов ; Московский государственный университет, Научно-исследовательский институт ядерной физики, Кафедра атомной физики и физики плазмы. - Москва : Изд-во Московского университета, 1988. - 62 c. : табл., ил. - Библиогр. : с. 62. - ISBN 5211012291
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- полупроводники -- элементная база СБИС -- производство интегральных схем -- технологии изготовления СБИС -- электронные свойства поверхностей -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Московский государственный университет
Научно-исследовательский институт ядерной физики. Кафедра атомной физики и физики плазмы
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
3.
Подробнее
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сборник научных трудов / Воронежский государственный университет ; [ред. кол : Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]. - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1989. - 196 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- вентильные металлы -- электрохимическая коррозия металлов -- диэлектическая изоляция -- химия полупроводников -- кремний -- производство интегральных схем -- гетероструктуры -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Угай, Я. А. \ред.\
Воронежский государственный университет
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сборник научных трудов / Воронежский государственный университет ; [ред. кол : Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]. - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1989. - 196 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- вентильные металлы -- электрохимическая коррозия металлов -- диэлектическая изоляция -- химия полупроводников -- кремний -- производство интегральных схем -- гетероструктуры -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Угай, Я. А. \ред.\
Воронежский государственный университет
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 3