База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.

Подробнее
537 Д 39
Дефекты структуры в ионно-имплатированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев [и др.]. - Минск : Университетское, 1990. - 319 c. : ил. - Библиогр. : с. 293-319. . - ISBN 5785501929
Кл.слова (ненормированные):
ионные пучки -- термический отжиг -- твердые тела -- дефекты (физика) -- кристаллы -- дефектообразование -- импульсный отжиг -- кремний -- ионно-радиационные дефекты -- равновесный отжиг -- дефекты
Доп.точки доступа:
Соловьев, Валерий Сергеевич
Новиков, Александр Петрович
Комаров, Фадей Фадеевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Дефекты структуры в ионно-имплатированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев [и др.]. - Минск : Университетское, 1990. - 319 c. : ил. - Библиогр. : с. 293-319. . - ISBN 5785501929
УДК |
Кл.слова (ненормированные):
ионные пучки -- термический отжиг -- твердые тела -- дефекты (физика) -- кристаллы -- дефектообразование -- импульсный отжиг -- кремний -- ионно-радиационные дефекты -- равновесный отжиг -- дефекты
Доп.точки доступа:
Соловьев, Валерий Сергеевич
Новиков, Александр Петрович
Комаров, Фадей Фадеевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Страница 1, Результатов: 1