Электронный каталог

vtls000866855
621.382 Б 825
Борисенко, Анатолий Исидорович.
    Химия и технология тонких неорганических пленок : конспект лекций / А. И. Борисенко, Л. В. Николаева ; Ленинградский технологический институт ; Ленинградский технологический институт. - Ленинград : [б. и.], 1973. - 83 с. : табл., ил.

УДК	621.382-181.48-416.002(02)

Кл.слова (ненормированные):
пленки тонкие неорганические -- растворы пленкообразующие -- эмалирование -- электролиз -- пиролиз -- эпитаксиальное наращивание -- диффузионное насыщение
Доп.точки доступа:
Николаева, Лариса Васильевна
Ленинградский технологический институт

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

vtls000671183

    Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / [авт. кол. : А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Приходько и др.] ; Академия наук СССР, Институт химии силикатов ; Академия наук СССР, Институт химии силикатов. - Ленинград : Наука, 1972. - 114 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 107-113

УДК

539

621.315.592-416.002

Кл.слова (ненормированные):
пленки тонкие неорганические -- растворы пленкообразующие -- диффузия примесей -- термодеструкция -- напыление -- разложение пиролитическое -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Борисенко, А. И.
Новиков, В. В.
Приходько, Н. Е.
Академия наук СССР. Институт химии силикатов

Экземпляры всего: 2
Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Книгохранение (1)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Книгохранение (1)