Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Стучебников, В. М.
Структуры "кремний на сапфире" как материал для тензопреобразователей механических величин / В. М. Стучебников; ???? поступила в редакци 01. 11. 2004г. // Радиотехника и электроника. - Т. 50, N 6 (2005), С. 678-696. - Библиогр.: с. 696 (69 назв. )
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
тензочувствительные элементы -- структура кремний на сапфире -- тензопреобразователи давления -- тензорезисторные преобразователи
Аннотация: Рассмотрены особенности гетероэпитаксиальных структур "кремний на сапфире", позволяющие использовать их в качестве тензочувствительных элементов преобразователей механических величин. Обсуждены свойства разработанных преобразователей давления и проблемы их дальнейшего развития.
Стучебников, В. М.
Структуры "кремний на сапфире" как материал для тензопреобразователей механических величин / В. М. Стучебников; ???? поступила в редакци 01. 11. 2004г. // Радиотехника и электроника. - Т. 50, N 6 (2005), С. 678-696. - Библиогр.: с. 696 (69 назв. )
| УДК |
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
тензочувствительные элементы -- структура кремний на сапфире -- тензопреобразователи давления -- тензорезисторные преобразователи
Аннотация: Рассмотрены особенности гетероэпитаксиальных структур "кремний на сапфире", позволяющие использовать их в качестве тензочувствительных элементов преобразователей механических величин. Обсуждены свойства разработанных преобразователей давления и проблемы их дальнейшего развития.
Страница 1, Результатов: 1