Перейти к содержимому
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Костылев, Сергей Александрович.
Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах / С. А. Костылев, Е. Ф. Прохоров, А. Т. Уколов ; [отв. ред. Ю. В. Воробьев] ; Академия наук Украинской ССР, Институт технической механики. ; Академия наук Украинской ССР, Институт технической механики. - Киев : Наукова думка, 1990. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 125-138.. - ISBN 512001304X
Кл.слова (ненормированные):
твердотельная микроэлектроника -- токоперенос в тонкопленочных структурах (микроэлектроника) -- микроэлектроника -- арсенид галлия -- арсенидгаллиевые тонкопленочные структуры -- тонкопленочные приборы -- тонкопленочные структуры
Доп.точки доступа:
Прохоров, Евгений Федорович
Уколов, Алексей Тихонович
Воробьев, Ю. В. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт технической механики
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Костылев, Сергей Александрович.
Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах / С. А. Костылев, Е. Ф. Прохоров, А. Т. Уколов ; [отв. ред. Ю. В. Воробьев] ; Академия наук Украинской ССР, Институт технической механики. ; Академия наук Украинской ССР, Институт технической механики. - Киев : Наукова думка, 1990. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 125-138.. - ISBN 512001304X
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
твердотельная микроэлектроника -- токоперенос в тонкопленочных структурах (микроэлектроника) -- микроэлектроника -- арсенид галлия -- арсенидгаллиевые тонкопленочные структуры -- тонкопленочные приборы -- тонкопленочные структуры
Доп.точки доступа:
Прохоров, Евгений Федорович
Уколов, Алексей Тихонович
Воробьев, Ю. В. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт технической механики
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции : пер. с англ. / под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. - Москва : Мир, 1982. - 576 с. - Парал. тит. л. на англ. яз.
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- перенос вещества в тонких пленках -- взаимодействие пленок -- твердотельная микроэлектроника -- металлофизика -- металлохимия -- имплантационная металлургия -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Поут, Дж. \ред.\
Ту, К. \ред.\
Мейер, Дж. \ред.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент научной литературы (1), Книгохранение (1)
Свободны: Абонемент научной литературы (1), Книгохранение (1)
Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции : пер. с англ. / под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. - Москва : Мир, 1982. - 576 с. - Парал. тит. л. на англ. яз.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- перенос вещества в тонких пленках -- взаимодействие пленок -- твердотельная микроэлектроника -- металлофизика -- металлохимия -- имплантационная металлургия -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Поут, Дж. \ред.\
Ту, К. \ред.\
Мейер, Дж. \ред.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент научной литературы (1), Книгохранение (1)
Свободны: Абонемент научной литературы (1), Книгохранение (1)
3.
Подробнее
Румак, Николай Владимирович.
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 181-189. - ISBN 5343005403
Рубрики: диэлектрические пленки--получение
микроэлектронные схемы интегральные--производство
Кл.слова (ненормированные):
МДП-структуры -- твердотельная микроэлектроника -- окисление кремния -- пленки диоксида кремния -- изолирующие слои -- пассивирующие слои
Доп.точки доступа:
Хатько, Вячеслав Владимирович
Борисенко, В. Е. \ред.\
Академия наук Белорусской ССР. Физико-технический институт
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Румак, Николай Владимирович.
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 181-189. - ISBN 5343005403
| УДК |
Рубрики: диэлектрические пленки--получение
микроэлектронные схемы интегральные--производство
Кл.слова (ненормированные):
МДП-структуры -- твердотельная микроэлектроника -- окисление кремния -- пленки диоксида кремния -- изолирующие слои -- пассивирующие слои
Доп.точки доступа:
Хатько, Вячеслав Владимирович
Борисенко, В. Е. \ред.\
Академия наук Белорусской ССР. Физико-технический институт
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Страница 1, Результатов: 3