Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
2.
Подробнее
Технология важнейших отраслей промышленности : учебник для вузов / [А. М. Гинберг, Б. А. Хохлов, И. П. Дрякина и др.] ; под ред. А. М. Гинберга, Б. А. Хохлова. - Москва : Высшая школа, 1985. - 496 с. : ил., табл.
Авт. указ. на обор. тит. л. Предметный указатель : с. 485-492
Рубрики: промышленность--технологические процессы--учебные издания для вузов
технологические процессы--организация--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
оптимизация технологических процессов -- межотраслевые технологические процессы -- разработка технологических процессов -- производство промышленных материалов -- химико-технологические процессы -- высокотемпературные процессы -- электрохимические процессы -- каталитические процессы -- биохимические процессы -- фотохимические процессы -- радиационно-химические процессы -- плазмохимические процессы -- металлы -- сплавы -- строительные материалы -- нефтепродукты -- полимеры -- минеральные удобрения -- кислоты -- щелочи -- технологические процессы электроники -- технологические процессы микроэлектроники -- сборочные процессы
Доп.точки доступа:
Дрякина, Ирина Петровна
Гинберг, Александр Миронович \ред.\
Хохлов, Борис Алексеевич \ред.\
Экземпляры всего: 7
Ч/З о. Русский (3), ЕКВ ауд.402 учебная (3), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (3), ЕКВ ауд.402 учебная (3), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Технология важнейших отраслей промышленности : учебник для вузов / [А. М. Гинберг, Б. А. Хохлов, И. П. Дрякина и др.] ; под ред. А. М. Гинберга, Б. А. Хохлова. - Москва : Высшая школа, 1985. - 496 с. : ил., табл.
Авт. указ. на обор. тит. л. Предметный указатель : с. 485-492
| УДК |
Рубрики: промышленность--технологические процессы--учебные издания для вузов
технологические процессы--организация--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
оптимизация технологических процессов -- межотраслевые технологические процессы -- разработка технологических процессов -- производство промышленных материалов -- химико-технологические процессы -- высокотемпературные процессы -- электрохимические процессы -- каталитические процессы -- биохимические процессы -- фотохимические процессы -- радиационно-химические процессы -- плазмохимические процессы -- металлы -- сплавы -- строительные материалы -- нефтепродукты -- полимеры -- минеральные удобрения -- кислоты -- щелочи -- технологические процессы электроники -- технологические процессы микроэлектроники -- сборочные процессы
Доп.точки доступа:
Дрякина, Ирина Петровна
Гинберг, Александр Миронович \ред.\
Хохлов, Борис Алексеевич \ред.\
Экземпляры всего: 7
Ч/З о. Русский (3), ЕКВ ауд.402 учебная (3), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (3), ЕКВ ауд.402 учебная (3), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 2