Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319 . - ISBN 9785915592154
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319 . - ISBN 9785915592154
| УДК |
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 1