Электронный каталог

Сельская, И. В.
    Реальная структура и скорость роста алмазных пленок, полученных на монокристаллах (111) кремния методом химической транспортной реакции [Текст] / И. В. Сельская, В. Д. Александров, П. В. Сельский // Материаловедение. - N 6 (2004), С. 27-32

Кл.слова (ненормированные):
подложки -- алмазные пленки -- монокристаллы кремния -- рентгенодифракционные исследования -- исследования -- химическая транспортная реакция -- транспортная реакция -- текстура кремния -- кремний
Аннотация: Рентгенодифракционные исследования алмазных пленок, полученных методом химической транспортной реакции, показали, что в пленках в зависимости от параметров синтеза присутствует текстура или (110) (давление 5, 3 кПа, температуры подложки 1073, 1173, и 1273 К) , или (311) , которая выявляется при температурах 1073, 1173 К и давлениях 21, 3 и 31, 9 кПа, в остальных случаях наблюдается двойная текстура (110) + (311) . Установлено , что скорость роста алмаза при увеличении давления изменяется немонотонно.
Доп.точки доступа:
Александров, В. Д.
Сельский, П. В.

Сельская, И. В. Реальная структура и скорость роста алмазных пленок, полученных на монокристаллах (111) кремния методом химической транспортной реакции [Текст] / И. В. Сельская, В. Д. Александров, П. В. Сельский // Материаловедение. - N 6 (2004), С. 27-32