Электронный каталог

Яфаров, Р. К.
    Кинетика структуирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 6.

Кл.слова (ненормированные):
углеродные покрытия -- субмонослойные углеродные покрытия -- кристаллы кремния -- вакуумно-плазменное осаждение -- СВЧ осаждение -- атомно-силовая микроскопия -- электронная микроскопия -- плазма паров этанола
Доп.точки доступа:
Шаныгин, В. Я.

Яфаров, Р. К. Кинетика структуирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. - С. 61-68. с. // Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 6.