База данных: Электронная библиотека
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Самостаева, Жанна Геннадьевна.
Литография в микроэлектронике [[Электронный ресурс]] : учебное пособие / Жанна Геннадьевна Самостаева. - Владивосток : [Изд-во Дальневосточного технического университета], [2003]. - 79 с. - Библиогр. : с. 78. - URL: https://library.dvfu.ru/lib/document/SK_ELIB/B10BDBBE-33F6-4B24-91D1-E7E83725A1E9
Рубрики: микроэлектроника (литография)
учебные издания
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- фоторезисторы -- фотошаблоны -- фотолитографические методы -- элионная литография -- литография (микроэлектроника) -- трафаретная печать -- ДВГТУ (труды преподавателей)
Доп.точки доступа:
Дальневосточный государственный технический университет (Владивосток)
Самостаева, Жанна Геннадьевна.
Литография в микроэлектронике [[Электронный ресурс]] : учебное пособие / Жанна Геннадьевна Самостаева. - Владивосток : [Изд-во Дальневосточного технического университета], [2003]. - 79 с. - Библиогр. : с. 78. - URL: https://library.dvfu.ru/lib/document/SK_ELIB/B10BDBBE-33F6-4B24-91D1-E7E83725A1E9
Рубрики: микроэлектроника (литография)
учебные издания
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- фоторезисторы -- фотошаблоны -- фотолитографические методы -- элионная литография -- литография (микроэлектроника) -- трафаретная печать -- ДВГТУ (труды преподавателей)
Доп.точки доступа:
Дальневосточный государственный технический университет (Владивосток)
Страница 1, Результатов: 1