Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Скупов, А. В.
Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11
ББК 22.3с + 31.24
Рубрики: Физика--Физические приборы
Энергетика--Техника высоких измерений
Кл.слова (ненормированные):
гетерокомпозиции -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- радиационные дефекты -- внедряемые ионы -- имплантируемые ионы -- ионы фосфора -- ионы бора -- точечные радиационные дефекты -- эпитаксиальные гетерокомпозиции -- профили пространственного распределения
Аннотация: Методом Монте-Карло рассчитаны профили пространственного распределения имплантируемых в гетерокомпозиции "диоксид кремния-кремний-сапфир" ионов бора и фосфора и возникающих при этом точечных радиационных дефектов.
Доп.точки доступа:
Скупов, В. Д.
Оболенский, С. В.
Скупов, А. В.
Особенности моделирования методом Монте-Карло профилей пространственного распределения внедряемых ионов и радиационных дефектов в гетерокомпозициях "кремний на сапфире" / А. В. Скупов, В. Д. Скупов, С. В. Оболенский // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2006), С. 5-11
| УДК |
Рубрики: Физика--Физические приборы
Энергетика--Техника высоких измерений
Кл.слова (ненормированные):
гетерокомпозиции -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- радиационные дефекты -- внедряемые ионы -- имплантируемые ионы -- ионы фосфора -- ионы бора -- точечные радиационные дефекты -- эпитаксиальные гетерокомпозиции -- профили пространственного распределения
Аннотация: Методом Монте-Карло рассчитаны профили пространственного распределения имплантируемых в гетерокомпозиции "диоксид кремния-кремний-сапфир" ионов бора и фосфора и возникающих при этом точечных радиационных дефектов.
Доп.точки доступа:
Скупов, В. Д.
Оболенский, С. В.
Страница 1, Результатов: 1