Перейти к содержимому
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526 . - ISBN 5256006991
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526 . - ISBN 5256006991
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Страница 1, Результатов: 1