Перейти к содержимому 
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сборник научных трудов / Воронежский государственный университет ; [ред. кол : Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]. - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1989. - 196 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- вентильные металлы -- электрохимическая коррозия металлов -- диэлектическая изоляция -- химия полупроводников -- кремний -- производство интегральных схем -- гетероструктуры -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Угай, Я. А. \ред.\
Воронежский государственный университет
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сборник научных трудов / Воронежский государственный университет ; [ред. кол : Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]. - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1989. - 196 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- вентильные металлы -- электрохимическая коррозия металлов -- диэлектическая изоляция -- химия полупроводников -- кремний -- производство интегральных схем -- гетероструктуры -- физика полупроводников
Доп.точки доступа:
Угай, Я. А. \ред.\
Воронежский государственный университет
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Страница 1, Результатов: 1