Физические явления в технологии микроэлектроники

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 Ф 505

    Физические явления в технологии микроэлектроники : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; [ред. кол. : Т. Д. Шермергор (гл. ред.) и др.]. - Москва : [Изд-во Московского института электронной техники], 1982. - 88 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.

УДК
621.382.049.77.002:53

Кл.слова (ненормированные):
электронный пучок -- полимерные пленки -- тонкие пленки -- кремниевые пластины
Доп.точки доступа:
Шермергор, Т. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг