QR-код документа
>
Hans H. Gatzen
Micro and Nano Fabrication [Электронный ресурс] / Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold. - Электроные текстовые данные. - 1007/978-3-662-44395-8. - [S. l.] : Springer Berlin Heidelberg, 2015. - ( час. мин.), 1007/978-3-662-44395-8
. - ISBN 9783662443958
Кл.слова (ненормированные):
engineering -- Nanotechnology and Microengineering -- Manufacturing, Machines, Tools -- Operating Procedures, Materials Treatment -- книги издательства Springer