Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники/Барыбин, Анатолий Андреевич.

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.38(075.8) Б 269
Барыбин, Анатолий Андреевич.
    Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники : учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов ; под общ. ред. А. А. Барыбина. - Москва : Физматлит, 2011. - 783 с. : ил., табл., портр. - Библиогр. : с. 771-772. . - ISBN 9785922113212

УДК
621.38:53(075.8)
620.3(075.8)

Рубрики: электроника--физико-технологические основы--учебные издания для вузов

Кл.слова (ненормированные):
макроэлектроника -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- нанотехнологии -- равновесные процессы (электроника) -- неравновесные процессы (электроника) -- фазовые равновесия (электроника) -- химические равновесия (электроника) -- структурные равновесия (электроника) -- кристаллы (электроника) -- диффузионные процессы (электроника) -- кинетические процессы (электроника) -- нанообъекты (электроника) -- полупроводники
Доп.точки доступа:
Томилин, Виктор Иванович
Шаповалов, Виктор Иванович

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг