Структуры "кремний на сапфире" как материал для тензопреобразователей механических величин/Стучебников, В. М.

 

QR-код документа

Оценок: 0


Стучебников, В. М.
    Структуры "кремний на сапфире" как материал для тензопреобразователей механических величин / В. М. Стучебников; ???? поступила в редакци 01. 11. 2004г. // Радиотехника и электроника. - Т. 50, N 6 (2005), С. 678-696. - Библиогр.: с. 696 (69 назв. )

УДК
539.2
ББК 22.37

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
тензочувствительные элементы -- структура кремний на сапфире -- тензопреобразователи давления -- тензорезисторные преобразователи
Аннотация: Рассмотрены особенности гетероэпитаксиальных структур "кремний на сапфире", позволяющие использовать их в качестве тензочувствительных элементов преобразователей механических величин. Обсуждены свойства разработанных преобразователей давления и проблемы их дальнейшего развития.

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг

Похожие издания по классификации

О влиянии внутренних напряжений на диффузию в наноструктурных сплавах/Кесарев, А. Г.
Магнетронная плазма и нанотехнология/Каштанов, П. В.
Магнитные наноструктуры на поверхности анодного оксида алюминия/Шадров, В. Г.
Мессбауэровские исследования термической стабильности слоистых металлических систем/Русаков, В. С.
Мессбауэровская спектроскопия и структура интерфейсов на атомном масштабе в металлических наносистемах/Уздин, В. М.