
QR-код документа
> 621.382 Ф 505
Физические основы микроэлектроники : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; Московский институт электронной техники ; [ред. кол. : Т. Д. Шермергор (науч. ред.) и др.]. - Москва : [Изд-во МИЭТ], 1986. - 159 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце ст.
УДК | 621.382.049.77 |
Кл.слова (ненормированные):
функциональная микроэлектроника -- микроэлектронные приборы -- оптическое излучение -- устройства акустэлектроники -- приборы интегральной оптики -- электромагнитное излучение -- электрофизические характеристики
Доп.точки доступа:
Шермергор, Т. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)