Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике/Валиев, Камиль Ахметович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 В 155
Валиев, Камиль Ахметович.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 338-347

УДК
621.382.049.75:776

Кл.слова (ненормированные):
литография субмикронная -- литография ионно-лучевая -- термоэлектронная эмиссия -- Ленгмюра закон -- Шотки эффект -- автоэмиссия электронов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг