Характеризация тонких углеродных пленок на поверхности железа, сформированных магнетронным напылением с ионно-лучевым перемешиванием

 

QR-код документа

Оценок: 0



    Характеризация тонких углеродных пленок на поверхности железа, сформированных магнетронным напылением с ионно-лучевым перемешиванием [Текст] / Т. С. Картапова [и др.]. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2017. - Т. 59, вып. 3.

Кл.слова (ненормированные):
тонкие углеродные пленки -- железо -- ионно-лучевое перемешивание -- магнетронное напыление
Доп.точки доступа:
Картапова, Т. С.
Бакиева, О. Р.
Воробьев, В. Л.
Колотов, А. А.
Немцова, О. М.
Сурнин, Д. В.
Михеев, Г. М.
Гильмутдинов, Ф. З.
Баянкин, В. Я.