Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.315 Л 175

    Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование / Академия наук Молдавской ССР, Институт прикладной физики ; [ред. кол. : С. Л. Пышкин (отв. ред.) и др.]. - Кишинев : Штиинца, 1988. - 100 c. : ил. - Библиогр. в конце ст. . - ISBN 5376004872

УДК
621.315.592
621.373.826

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- лазерная вакуумная эпитаксия -- лазерная плазма -- микроэлектроника -- кинетика кристаллизации
Доп.точки доступа:
Пышкин, С. Л. \ред.\
Академия наук Молдавской ССР. Институт прикладной физики

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг